臭氧是一种强氧化剂，通过高压电离(或电解、化学、光化学反应)而获得，其产生过程是将空气中的部分氧气分解为氧原子，这些氧原子再和氧分子聚合成臭氧。

臭氧的性质极不稳定，生产之后会快速分解，所以，臭氧只能现产现用。产生臭氧的设备叫臭氧发生器。

大多数工业臭氧发生器都使用电晕放电产生臭氧。臭氧的生产量最高可达20％（重量），而臭氧生产不受限制。臭氧是由氧气或干燥空气产生的，如果使用空气，则由于在臭氧生成过程中会产生副产物，因此必须干燥。