1、上海微电子装备有限公司坐落于张江高科技园区内。
2、公司成立于2002年，主要致力于大规模工业生产的投影光刻机研发、生产、销售与服务，公司产品可广泛应用于IC制造与先进封装、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED等制造领域。
3、公司法定代表人：张素心。