有人可能以为半导体工厂就是下面这个样子,干净无比、一尘不染,只有少数几个人和大量的机器,心想,不就是一些机器在工作吗,怎么会有人因此得上癌症呀。
实际上,半导体产业虽然听起来非常高精尖,跟冶炼、化工这样的产业根本就是一个天上一个地下,尤其是污染,半导体这么高大上的行业难道还会有污染?
首先是工厂内会有大量的酸性气体。这些气体来自于晶圆的蚀刻、清洗等过程。如HCl、HNO3、NH4OH等气体都很容易产生大量的浓烟,这些烟雾中含有刺激性且含毒性的NO2等等。
其次,由于半导体制造的过程中会需要大量使用光阻液、显影液等等,这些溶液主要是有机物质,因此在蚀刻、清洗、薄膜生长等过程中,会有大量的有机溶剂被使用,其中就包括二甲苯、丙酮、苯、CCl4、CF4、CCl2F2等等,别的不说,苯就是高毒性的一级致癌物。
为了防止这些污染伤害员工、污染环境,半导体工厂需要有极为严格的污染防治措施,包括时实处理工作场所的空气、妥善处理生产废料等等。可以说污染处理的任何一个环节出现了问题,那么都有可能对员工的身体造成巨大的伤害,同样也有可能会对周围的环境造成巨大的污染。
但是这些复杂的空气过滤系统、污染处理系统都是很费钱的,再加上韩国本身在企业员工人身安全方面就做的远远不如其他发达国家,所以出现在污染防治方面能省则省也就不足为奇了。
这次韩国宣布赔偿和道歉,距离2007年3月员工急性白血病死亡已经过去了11年,最终宣布一人最高可获赔偿92万元人民币【如下图所示,为宣布道歉的现场】,道歉者为三星DS事业部代表理事金基南。而截至2015年10月,因为从事三星半导体工厂相关工作而死亡的人数是76人,女性占了75%,大多数患上了乳腺癌、卵巢癌和白血病。